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单晶硅压力传感器特点介绍

作者:admin | 浏览次数:171 | 时间:2020-04-22
【文章导读】 单晶硅基压力传感器,它是建立在微米/纳米基础上,在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥(Wheatstone bridge)组成的硅应变计,经500℃以上高温熔化玻璃,将硅应变片烧结在17-4PH不锈钢传感弹性体上,弹性体受压变形后产生电信号,由带微处理 器的数字补偿放大电路进行放大,经数字软件进行全智能温度补偿,输出标准信号。

单晶硅基压力传感器,它是建立在微米/纳米基础上,在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥(Wheatstone bridge)组成的硅应变计,经500℃以上高温熔化玻璃,将硅应变片烧结在17-4PH不锈钢传感弹性体上,弹性体受压变形后产生电信号,由带微处理 器的数字补偿放大电路进行放大,经数字软件进行全智能温度补偿,输出标准信号。在标准净化生产过程中,参数严格受控,避免了温度、湿度及机械疲劳的影响, 具有频响高、工作温度宽等特点,保证了传感器在工业恶劣环境中使用的长期稳定性。

特点

1、精度高:由于传感器使用的是单晶硅谐振式传感器,其优良的性能保证了测量的精度,变送器的精度可达到±0.065%,这是其他变送器无法比拟的。  

    2、稳定性好:由于电路采用了特性修正存贮器,对采集到的温度、静压数据通过CPU运算,修正因此产生的测量漂移。同时,智能转换器采用了大规模集成电路,并将放大器AISC化,减少了零部件,提高了放大器的自身可靠性,使仪表具有非常可靠的稳定性和重复性。 

    3、静压特性好:由于两个谐振梁加工工艺精密,尺寸完全一致,且处于同一表面,故在受压后产生的频率变化是相同的,其差值保持不变。因此,在静压引入仪表时对测量几乎没有影响,保证了测量的精度。  

    4、具有良好的单向受压特性:变送器具有非常优良的承受反复交替的高压侧、低压侧反复受压的能力,其数值可大16Mpa。其受压时间可达30S。其优点是安装时可以省去平衡阀,节省投资。另一方面可以防止因误操作或导压管堵塞造成变送器单向受压损坏,可以避免因此给企业造成的损失。  

    5、具有较宽的测量范围,但衡量一种变送器是否具有较宽的测量范围外,还需要考虑变送器的各部分材质和许多附加规格是否能一机多用,EJA变送器在这一点上显示了较好的优越性,宽的量程比,通用性的接液部件材质,附加规格的减少,可使变送器的实用性和通用性得以提高,给设计者和使用者带来方便。同时,也减少了备表的数量和种类,为企业减少了维护费用。  

    6、方便的组态能力和自诊断功能,另外,对变送器的自诊断功能可以显示变送器的运行状况和故障信息,从而,指导检修维护人员对故障的分析和判断。


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